日本SMC真空閥,SMC高真空L型閥

特長    
采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。
與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

SMC高真空閥L型及直通型
在半導(dǎo)體制造過程中,腐蝕裝置,噴鍍裝置,粒子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板方在真空是內(nèi)處理,該真空室供氣,排氣(真空)用閥,要求它們無泄漏,耐腐蝕且是潔凈規(guī)格.

SMC高真空閥L型及直通型型號列表

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:李  生 
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日本SMC真空閥,SMC高真空L型閥

XLA-16
XLA-160
XLA-16-2
XLA-16A-F9NA
XLA-16A-M9NA
XLA-16G-M9//
XLA-16G-M9NLA
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XLA-16-M9NA
XLA-16-M9NLA
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XLA-25-2
XLA25-30-1-M9//
XLA-25A
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XLA-25G
XLA-25G-F9NLA
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XLA-25G-M9NLA
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XLA-25-M9NLA
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XLA-40G-M9NLA
XLA-40-M9//
XLA-40-M9NLA
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XLS-16-5G
XLS-16-P2G
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XLS-25-P2G
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XMA-25
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XMC-40
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XMF-16A